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第287节（第2页）

并且为确定是否能用于高端光刻机，当天便对光源的波长功率稳定性等进行了测试。

“虽然我觉得这次我们肯定能成功，但不知怎么心里还是有些紧张。”

2020年6月22日，锦城，光电技术研究所极紫外光刻机项目。

光源测试实验室外面，穿着白色研究服的杨靖来回迈着步伐显得有些不安，尽管表面上故作镇定，但脸上隐藏不了的小表情还是把真实感受暴露。

这段时间在参与了光源的制造后，他更加坚信徐昀方案的可行性。

认为极紫外光刻机的光源问题已经解决。

可眼看最终的光源测试结果就要出来，心里多少还是有些忐忑。

相比坐不住的杨靖，罗长辉明显镇定许多，坐在旁边椅子上还不忘打开杯子喝茶。

“把心态放平和，既然选择了相信徐教授，那就耐心等待结果。”

“我这不是害怕嘛。”杨靖听到罗长辉这话有些不好意思。

好歹他也是半截身子入土的研究员教授，遇到事情表现的还不如那些博士后，确实多少有些不太妥当。

不过话是那样说，但试问又有几个能真正做到波澜不惊。

俗话说见过了光明便再难接受黑暗，徐昀的光源方案让他们看到了希望，属于国产极紫外光刻机终于能交付使用的希望。

若最终测试出的结果无法达到要求，那么这些天的努力都将白费。

尽管科学研究本就不应惧怕失败，但对于项目成员肯定是个不小的打击。

杨靖没有再回应罗长辉的话，而是把目光投向了同样面色平静的徐昀，稍作迟疑还是嘴唇轻启询问了句。

“徐教授。”

“你说这次我们能成功吗？”

“当然会成功。”徐昀闻言迎上对方的眼神非常坚定的回答。

好歹这也是他耗费150积分推导出的方案，自然有着百分百的把握。

可以说出现特殊状况的概率基本不存在。

正因如此他才全程保持着平静，压根没有担心。

甚至要不是杨靖主动询问，他甚至都不打算多说一句话。

但该说不说杨靖听到徐昀这话镇定不少，显然是出于对徐昀的信任选择相信光源的测试结果。

就这样大概又过去十多分钟的时间，只见穿着研究服的刘星终于从里面走出来，手中还拿着份氟化氙光源的测试数据报告。

几乎是瞬间大家的注意力便集中在了刘星身上，连罗长辉也猛地站起身来。

而对此刘星却像是没注意到其他人似的，径直走到徐昀跟前把报告递过去的同时开口汇报。

“徐教授。”

“我们的氟化氙光源测试成功了。”

“这是详细数据。”

尽管徐昀早就清楚会是这个结果，听到这句话还是突然加快了手上动作，迅速查看起上面的详细数据。

首先氟化氙光源的波长为13.5纳米，满足极紫外光刻机的要求。

光源工作功率成功达到250瓦，且非常稳定。

也就是说他们制造的氟化氙光源完全能够使用在极紫外光刻机上，距离首台国产高端光刻机的正式交付使用又往前迈了一大步。

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