手机浏览器扫描二维码访问
第659章 光刻机里的DPP方案（第2页）
……
……
两天后，陈平江已经从沪上赶往了祖国的最北端。
在哈工大的校园里，陈平江见到了赵永鹏。
“哈哈，陈董，虽是初次见面，却已经神交已久啊。”
赵永鹏亲热的同陈平江握手。
陈平江笑眯眯道：“赵教授不必客气叫我小陈就好，今天我过来是特意对您的卓越贡献表示感谢的。”
陈平江说不用客气，赵永鹏哪里敢真的叫他小陈，只当是客套话。
“军功章也应当有你的一半，如果不是之前您的资助和多方面协助，我们也不会如此顺利。”
赵永鹏招招手，“我们去实验室看看。”
陈平江来到哈工大，之前已经和校方打过招呼，希望低调处理，这才没有引起围观。
这次过来完全是因为赵永鹏团队顺利研发出“放电等离子体极紫外光刻光源”
的缘故。
这个项目，陈平江已经跟了好几年，前后资助不下2000万，并且表示不要任何知识产权，如今终于到了开花结果的时候。
宽敞明亮的实验室内。
陈平江身着无尘服，戴着口罩仔细听着赵永鹏介绍。
“在演示之前，我有必要说下。
这台机器的光源焦点功率只有43瓦，与asml的最近两代EUV光源250-500瓦，差距还是巨大的，目前只能称之为实验室阶段，不过我们团队有信心，在两年内将功率提升到200瓦。”
陈平江点了点头，表示理解。
毕竟在EUV中光源也只是一部分，还需要其他十万个零件一起协同配合。
但不管怎么说，也搞定了最关键的一个部分。
在当前的EUV光刻机技术上，存在两种光刻机技术路线。
一种是DPP方案（放电产生等离子体），一种是LPP方案（激光产生等离子体）。
当前全球唯一一家能生产EUV光刻机，垄断了全球高端光刻机市场的公司——荷兰ASML公司，采用的就是LPP方案。
哈工大的这个“放电等离子体极紫外光刻光源”
，从名字上就能看出它走的是DPP方案。
DPP方案最大的一个问题就是光源的焦点功率不足。
光刻机的光源是用来烧石头（单晶硅）的，功率不足自然就烧不动，也就没法蚀刻出芯片。
好在，因为专利的限制，当前中国走DPP方案的EUV光刻机研究，是要比走LPP方案容易的。
虽然当前DPP方案还无法商用，暂且无法用在EUV光刻机身上，但DPP方案技术是会进步的。
DPP方案本身优势也不小，比如光源稳定、对清洁度要求低，以及成本更低。
并且，陈平江也不会将鸡蛋放在一个篮子里。
除了哈工大这头，XX光电所和沪上某家研究所都有资助，大家进度不一，路线也不同。
任何一方取得最终突破，都会大大提前国产EUV光刻机问世的时间。
短跑：这位冠军有点怪 玄幻：我的机缘每日刷新 斗罗：我有一剑，可无敌于世间 凡人后 四合院：虐爆众禽，我反手娶于莉 遭遇过打击的股神 家父雷电法师 阴间直播间：封我账号？我揍你爹 长生自元阳尽泄开始 重生高武：不当怨种后，悔哭黑丝女神 麋芳不投降：大哥别打了！ 我主不朽 人在大明，无法无天 说好练武，你一拳爆星什么鬼？ 修仙，觉醒情报系统 每日签到：我在诡异世界当捕快 半岛恋爱定格 末日！别人求生，我游山玩水 侦探秦仁杰 这个导演全能但有病
绝品护花兵王
绝品护花兵王简介emspemsp绝品护花兵王是阿布西的经典都市言情类作品，绝品护花兵王主要讲述了浴血奋战，山林归隐，胡良下山，成了故人之女的监护人，还要兼职阿布西最新鼎力大作，年度必看都市言情。海棠屋（haitangshuwucom）提供绝品护花兵王最新章节全文免费阅读！。...
不败战神（又名：第一战神）
不败战神（又名第一战神）简介emspemsp关于不败战神（又名第一战神）独家首发，领先24小时更新都市无敌战神修罗战神逍遥战神超级战神在都市家族被毁，产业被霸，亲人被辱而死，豪门战神归来！今日，我已有能力护住亲人，可恨亲人已...
至尊特种兵在都市
至尊特种兵在都市简介emspemsp关于至尊特种兵在都市一代兵王贺秋风回归都市，掀起铁血狂潮。他的功夫出神入化，他的飞刀寒芒涌动，他的赌术神乎其神，强大支撑正义的风采，拥抱财富，创造奇迹！...
舌尖上的斗罗大陆
（对话版简介）系统恭喜宿主，您已绑定异世界美食系统，系统将帮助您用蓝星的美食征服异世界。祁寒所以我现在在异世界？系统是的宿主，还有问题吗？祁寒哪个异世界？系统斗罗大陆。祁寒？（正式版简介）祁寒本以为自己可以在史莱克城安稳的开一家小饭店，苟到故事的大结局，直到一个叫做日月大陆的大陆与斗罗大陆撞在一起，新的战火席卷整个斗罗大陆，面对客人的流失，生意的惨淡，祁寒一怒之下拔出菜刀，一刀之下，世界都安静了。谁敢打扰我做生意！（本书又名我在史莱克城有一家餐厅在斗罗大陆做厨子的我是否搞错了什么只想成为封号斗罗的我被迫成为厨神）如果您喜欢舌尖上的斗罗大陆，别忘记分享给朋友...
重生后夫人每天都想报仇
五洲史小扎记载乱世四百三十年，齐南战败西北，齐南王大怒，长孙祸起，全族被灭，血流千里，长孙小将军手持长剑只身挡千军万马，孤身不敌。被逼至家族祠堂前，呕血咒言天道不公，欺我族人，亡我将士，英魂厉鬼，必让尔等血债血偿。三月大雨，六月飞雪，天大冤情埋于黄土。跳鼎殉剑，一朝身死，经年后，她化身剑灵嗜血归来，长剑在手，十步一命，脚下白骨累累，却惹上了昔年被天下人嗤笑的小胆子侯爷，装弱不要脸的躲在她的身后求保护。玥玥，我今个儿上朝参了李文相一本，他肯定会暗下杀手，求保护。玥玥，王上要猎场围猎，我不会射箭，求带求保护。玥玥，他们送来的马儿太烈了，我不敢过去，求保护。玥玥，最近我屋子里老有咯吱咯吱的声响，我害怕，求保护。众人嗤笑这手握齐南所有兵权的将相侯爷不会武功？不会射箭？不敢训马？开玩笑吧，于是众人再叹，侯爷不要脸，五洲四国天下第一。乱世群雄辈出，往事尘封归来，她乱世而起，剑指昔日君王，他俯首送上五洲兵防，数十万大军撑她身后，与她并肩而立长孙玥，称帝吧五洲史，将出兵，文出将，忠诚无义可笑可笑。朝堂上，府邸里，阴谋论，情深及，叫声玥玥保护保护。如果您喜欢重生后夫人每天都想报仇，别忘记分享给朋友...
软饭兵王
软饭兵王简介emspemsp关于软饭兵王他是低沉的大叔，悲怆而沧桑的男人时刻准备着的退伍老兵搞笑不断，暧昧不断。...