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制造的euv光刻机,
光源模块也是直接从米国买过来的。
使用极紫外光,光刻5n芯片自然没有问题,
可是3n芯片,
甚至2n芯片,
乃至1n芯片,
就完全不行。
必须要波长更短的光源才可以实现。
而叶龙抽奖的时候,已经获得这种光源获得方式:
电子束光源技术!
没错!
顾名思义,
这种光源完全是电子束发出的光线。
波长与极紫外光相比,
尺寸小了至少三倍!
波长只有3~5n,制造1n芯片电路图都毫无压力。
再说光线能量问题。
能量越大,绘制芯片电路图的时候,曝光时间就越短。
这样的话,
不仅能够提升生产效率,
更为关键的是,
期间出现问题的几率也就越小。
而电子束光源,
说白了就是高速运动的电子束,产生的能量可想而知!
比起极紫外光,
能量至少提高十倍!
最后再说曝光能量均匀分布的问题。
这就和光源平行度有很大的关系了。
极紫外光平行度可以达到90,
这个数据已经非常恐怖了!
可与电子束光源相比,
双方就完全不是一个等级了。
因为电子束光源平行度能够达到100,每个电子的运行方向和速度完全一致,
可以说是最完美的平行光。
绘制芯片电路图的时候,光线完全均匀照射,曝光能量自然也是相当均匀的。
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第三更。
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