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第108节（第1页）

光源系统设备验收阶段圆满完成，接下来就是高阶光刻机的组装。

除了光源系统、双工作台系统和光学系统，余下零件所需还有更精确的镜头组、反射镜，以及arf光刻胶等，国内暂时还没有研发出来。

但这都不是问题。

因为最艰难的光源系统和双工作台系统已经被圆满攻破，剩下的arf光刻胶等技术要求很高，可相对来说，难度系数不是特别大。

林成建也很兴奋，他勉强保持冷静，对盛明安和陈惊璆说：“光源系统设备验收通过，ic设计部正在攻破20nm以下的鳍式场效应晶体管工艺，尽量保证我们能够生?产出13.5nm工艺以上更高精度的芯片。”

鳍式场效应晶体管是一种防止因高精度工艺而导致晶体管失去开关作用而发明的工艺，采用3d立体?晶体管架构，突破芯片晶体管的22nm工艺极限，不直接作用于光刻机，而是ic设计工程师必须掌握的一项核心技术。

陈惊璆：“那就交给你了。”

“放心，我会尽快解决这个技术难点。”林成建现在充满信心，又对盛明安说：“保险起见，光源系统设备最好赶紧申请专利保护。”

盛明安：“我知道的。”

光源系统设备虽有多人团队协作发明，但真?正突破该关键性技术的人是盛明安，所以他是申请专利的不二人选。

程院长凝视光源系统设备，长久无言。

直到林成建在盛明安身边提议专利申请，他才回?过神来，深深呼出胸中那口沉淀多年的郁气，心情畅快，问盛明安：“你打算申请提前毕业？”

盛明安惊讶：“您知道？”

“你是张教授的得意门生，他经常在外面吹嘘你，申市光机所谁不知道？”程院长一想起张群芳炫耀的嘴脸就想翻白眼，他说：“如果你想申请提前毕业，光源系统被攻破这份科研成果的确能让科大酌情考量，同意你的申请。不过同意是一方面，能不能通过考试又是另一方面的事。”

提前申请毕业可以，修足学分、通过考试。

学分不足的前提下提前申请毕业也可以，通过科大校长、学院教授等权威人士的考验就行。

“你剩下复习的时间也不多，这样，反正光源系统设备已经成功验收，接下来的设备完善、光源优化由我来完成，你就专心复习怎么样？”程院长建议道。

盛明安思索几秒，点头同意。

程院长见他痛快点头，好笑询问：“你不怕我趁你准备毕业复习偷走你的科研成果？”

盛明安闻言飞快的看了眼程院长，表情有点一言难尽：“程院，实验室里装满了摄像头。”

想偷科研成果也得偷得到，就算偷到了也得销毁蓝河科技团队研发阶段的视频录像，否则就是身败名裂的下场。

程院长一愣，尴尬的‘哈哈’两声顺便摆手表示人老了容易糊涂，居然问出这么蠢的问题。

嘴上自嘲，但程院长脸上不见难堪窘态，还留着激动的余晖。

最难的光源系统设备被解决，他仿佛看到了属于华国的高阶光刻机崛起，仿佛看到那只扼住华国半导体产业链发展的强盗的手被利落斩断的未来。

所以一时高兴忘形犯点蠢怎么了？

程院长乐呵呵想着他就喜欢这种前提下的犯蠢，令人身心愉悦。

“对了！”程院长忽然想起什么，赶紧说道：“小陈总，你不会忘了蓝河科技跟微电子科技的合作吧？”

陈惊璆：“程院放心，蓝河科技和微电子科技一切合作遵照合约来办。无论是光源系统设备还是最终研发的高阶光刻机都会率先与微电子科技展开合作。”

程院长放心了。

“有小陈总这句话，我就彻底安心了。”

程院长又闲聊了几句话才离开实验室，回?到蓝河科技为他准备的办公室，联系微电子科技老总，将?蓝河科技的光源系统设备验收成功这一消息告知。

“光源系统被攻破了？！！”微电子科技老总惊呼，差点跳出椅子。

“对，所以我的建议是增进微电子科技与蓝河科技的合作，同时注资入股。13.5nm的光源设备已被验收，如果国产高阶光刻机有可能在今年或明年被研发出来，我相信一定是在蓝河科技的实验室问世。”

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